Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Prüfaufgabe:

  • Beurteilung von kleinsten Proben/Partikeln, Bauteiloberflächen (Beschichtungen, Korrosionserscheinungen, etc.) und Bruchflächen

Anwendung:

  • In der Schadensanalyse (Fraktographie, Korrosion), Bauteilsauberkeitsanalyse

Hauptkunden:

  • Automotive, allgemeiner Maschinenbau, Luft- und Raumfahrt, Elektronikindustrie
Bauteilübersicht
Bruchfläche

Verfahrensbeschreibung

Das RasterElektronenMikroskop (REM) ermöglicht die Untersuchung von kleinsten Proben, Darstellung von Oberflächenmodifikationen (z.B. Beschichtungen, Korrosionserscheinungen, etc.) und Bruchflächen von Feststoffen.
Hierbei wird die Probenoberfläche unter Vakuum mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl punktuell abgerastert. Die hierbei angeregten und emittierten Elektronen werden von einem Elektronendetektor aufgefangen, zu einem Signal verarbeitet und als Bild dargestellt. Diese mikroskopische Untersuchungsmethode bietet hochauflösende Abbildungsmöglichkeiten, eine sehr hohe Tiefenschärfe und einen großen Vergrößerungsbereich.

Verfahren in der zerstörenden Werkstoffprüfung