Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Prüfaufgabe:

  • Elementanalyse von kleinsten Proben/Partikeln, Beschichtungen, Korrosionserscheinungen, etc.

Anwendung:

  • In der Schadensanalyse (Fraktographie, Korrosion), Bauteilsauberkeitsanalyse

Hauptkunden:

  • Automotive, allgemeiner Maschinenbau, Elektonikindustrie
Vergrößerung: 200 fach
Analyse des Partikels

Verfahrensbeschreibung

Mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (engl. Energy Dispersive X-ray spectroscopy - EDX) können Elementanalysen von kleinsten Partikeln und dünnsten Schichten durchgeführt werden. Durch die hohe Auflösung des Rasterelektronenmikroskopes kann eine exakte, punktuelle Auswahl des Analysenbereichs gewährleistet werden.
Der Elektronenstahl des REM regt die Atome der untersuchten Probe an, hierbei wird charakteristische Röntgenstrahlung emittiert.Über die Wellenlänge und die Intensität der so detektierten Röntgenstrahlung kann eine quantitative Aussage über die Elementverteilung getroffen werden.

Verfahren in der zerstörenden Werkstoffprüfung